Graduierten-Spezialisierungsprogramm in der Entwicklung von mikro- und nanostrukturierten Materialien in Reinraumumgebungen

Graduierten-Spezialisierungsprogramm in der Entwicklung von mikro- und nanostrukturierten Materialien in Reinraumumgebungen

Das Ausbildungsprogramm „Entwicklung von mikro- und nanostrukturierten Materialien in Reinraumumgebung“ ist ein Spezialisierungskurs mit engem Bezug zu naturwissenschaftlichen und technologischen Bereichen mit dem wissenschaftlichen Bereich der Ingenieurphysik, der sich insbesondere auf die wirtschaftlichen und wissenschaftlich-technologischen Weltfelder konzentriert. Der Kurs zielt darauf ab, verschiedene Fähigkeiten im Bereich Physik und Technologie von Materialien in einer kontrollierten Umgebung zu verbinden, wobei der Schwerpunkt auf dem Erwerb von Fähigkeiten und Kenntnissen liegt, die für die technologische Entwicklung des Landes immer wichtiger werden.

Am Ende dieses UC sollten die Studierenden Grundkenntnisse erworben haben über:

• Reinräume: verschiedene Arten und Eigenschaften von Reinräumen, ihre Funktionen und grundlegenden Verfahren und Regeln für die Benutzung und Grundprinzipien der Wartung;
• Fortgeschrittene Techniken zur Abscheidung von Materialien in einer Reinraumumgebung, nämlich Elektronenstrahlabscheidung, Atomlagenabscheidung (ALD) und Abscheidung von Materialien durch DC- und HF-Sputtern;
• Mikrofabrikationstechniken in einer Reinraumumgebung, nämlich Photolithographie, Oberflächenbehandlungen und chemisches Ätzen und Herstellung von Mikroelektroden;
• Morphologische, strukturelle und elementare/chemische Charakterisierung von Materialien basierend auf optischer Spektroskopie und fortschrittlichen hochauflösenden Mikroskopietechniken

Die Teilnehmer, die den Kurs absolvieren, verstehen die physikalischen Grundlagen, die den verschiedenen behandelten Techniken zugrunde liegen, und verfügen über grundlegende Kenntnisse über die mit jeder Technik verbundene Ausrüstung, einschließlich ihrer Komponenten und ihrer jeweiligen Funktion. Die Studierenden sollen Kenntnisse über die experimentelle Durchführung verschiedener Techniken haben und auch in der Lage sein, die am besten geeigneten Techniken zur Gewinnung spezifischer Mikrostrukturen und deren jeweiliger Charakterisierung zu identifizieren, zu planen und umzusetzen.